激光器芯片的自動(dòng)化測(cè)試裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210305776.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114675164A 公開（公告）日 2022-06-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN114675164A 申請(qǐng)公布日 2022-06-28
分類號(hào) G01R31/28（2006.01）I;G01R1/04（2006.01）I;G01R1/067（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 黃建軍;吳永紅;趙山;胡海洋 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州聯(lián)訊儀器股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州創(chuàng)元專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 -
地址 215011江蘇省蘇州市高新區(qū)湘江路1508號(hào)5幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種激光器芯片的自動(dòng)化測(cè)試裝置，其測(cè)試探針組件包括：與驅(qū)動(dòng)支架連接的本體、支撐板、用于與待測(cè)試芯片接觸的探針和動(dòng)點(diǎn)接觸探頭，所述支撐板一端安裝有一懸臂，另一端安裝有所述動(dòng)點(diǎn)接觸探頭，所述本體下端面一側(cè)設(shè)置有一位于動(dòng)點(diǎn)接觸探頭上部并與其對(duì)應(yīng)的靜點(diǎn)接觸探頭，所述懸臂遠(yuǎn)離支撐板一端固定有一安裝有所述探針的探針座，所述探針座包括基座和夾片，所述探針位于基座和夾片之間，所述探針與支撐板的夾角為30°。本發(fā)明提高了檢測(cè)數(shù)據(jù)的穩(wěn)定性、重復(fù)性、可比較性和一致性。