用于芯片的多探針測試裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210567113.4 申請日 -
公開（公告）號 CN114660442A 公開（公告）日 2022-06-24
申請公布號 CN114660442A 申請公布日 2022-06-24
分類號 G01R31/28（2006.01）I;G01R1/04（2006.01）I;G01R1/073（2006.01）I;G01R1/02（2006.01）I;G01M11/00（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 黃建軍;吳永紅;趙山;胡海洋 申請（專利權(quán)）人 蘇州聯(lián)訊儀器股份有限公司
代理機構(gòu) 蘇州創(chuàng)元專利商標事務所有限公司 代理人 -
地址 215011江蘇省蘇州市高新區(qū)湘江路1508號5幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種用于芯片的多探針測試裝置，其測試組件包括通過一支座安裝于驅(qū)動支架上的光電探測器，位于測試臺外側(cè)的光電探測器的收光面朝向測試臺，光電探測器的收光面與測試臺之間還設(shè)置有一棱鏡，探針組件包括：與驅(qū)動支架連接的座體和安裝于座體上的探針，座體一端的上表面開有一通孔，傾斜設(shè)置的通孔的上端位于通孔的下端與座體另一端之間，一簧片的連接部與座體另一端的上表面固定連接，延伸至通孔上方的簧片的主體部上開設(shè)有一位于其連接部與通孔之間的安裝通孔。本發(fā)明保證了測試探針時探針與芯片之間作用力的穩(wěn)定性與一致性，還保證了光電探測器對待測試芯片收光的效率。