一種芯片測(cè)試探針及芯片測(cè)試裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210537148.3 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN114646787A 公開(公告)日 2022-06-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN114646787A 申請(qǐng)公布日 2022-06-21
分類號(hào) G01R1/073(2006.01)I;G01R31/28(2006.01)I;G01J5/00(2022.01)I 分類 測(cè)量;測(cè)試;
發(fā)明人 羅躍浩;黃建軍;胡海洋 申請(qǐng)(專利權(quán))人 蘇州聯(lián)訊儀器股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京智匯東方知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 -
地址 215129江蘇省蘇州市蘇州高新區(qū)湘江路1508號(hào)1號(hào)樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種芯片測(cè)試探針及芯片測(cè)試裝置,屬于芯片測(cè)試技術(shù)領(lǐng)域。該芯片測(cè)試探針包括:測(cè)試探針本體,用于在其測(cè)試端部與待測(cè)芯片接觸時(shí)探測(cè)所述待測(cè)芯片上的電信號(hào);和導(dǎo)光部,由高純度的二氧化硅制成,用于傳導(dǎo)光信號(hào),所述導(dǎo)光部設(shè)置于所述測(cè)試探針本體的周側(cè)表面或所述測(cè)試探針本體的內(nèi)部,所述導(dǎo)光部的一端用于與所述待測(cè)芯片相對(duì)設(shè)置、另一端用于與紅外測(cè)溫裝置相連,以便所述紅外測(cè)溫裝置根據(jù)接收到的所述待測(cè)芯片發(fā)出并通過所述導(dǎo)光部傳導(dǎo)的光信號(hào)計(jì)算所述待測(cè)芯片的溫度。本發(fā)明的芯片測(cè)試探針和芯片測(cè)試裝置能夠提高芯片溫度的測(cè)量準(zhǔn)確性。