一種Mini/MicroLED芯片轉(zhuǎn)移裝置和系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120343087.8 申請日 -
公開(公告)號 CN215731721U 公開(公告)日 2022-02-01
申請公布號 CN215731721U 申請公布日 2022-02-01
分類號 H01L27/15(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;H01L33/48(2010.01)I;H01L33/62(2010.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 吳振志;楊國亮;羅子龍;嚴(yán)振航;吳涵渠 申請(專利權(quán))人 深圳市奧拓電子股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 518000廣東省深圳市羅湖區(qū)清水河街道清水河社區(qū)清水河一路112號深業(yè)進(jìn)元大廈塔樓2座1805
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型申請涉及一種Mini/Micro LED芯片轉(zhuǎn)移裝置和系統(tǒng),Mini/Micro LED芯片轉(zhuǎn)移系統(tǒng)包括:抽真空泵,用以抽真空使轉(zhuǎn)移頭產(chǎn)生吸附力;儲氣罐,用以通氣使轉(zhuǎn)移頭停止吸附芯片;電子閥門,用以控制抽氣和通氣的開關(guān);控制模塊,用以控制所述電子閥門,進(jìn)而控制Mini/Micro LED芯片轉(zhuǎn)移裝置的氣體進(jìn)出和移動;一種Mini/Micro LED芯片轉(zhuǎn)移裝置;所述抽真空泵、所述儲氣罐與所述控制模塊相連,分別通過所述電子閥門控制所述抽真空泵、所述儲氣罐的開關(guān),所述控制模塊與所述芯片轉(zhuǎn)移轉(zhuǎn)置相連。本實(shí)用新型申請的Mini/Micro LED芯片轉(zhuǎn)移裝置及其系統(tǒng),有效降低了芯片轉(zhuǎn)移器件工序的復(fù)雜程度,合理配置工作流程,提高了芯片轉(zhuǎn)移效率和轉(zhuǎn)移良率。