一種半導(dǎo)體圓片蝕刻系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910196984.8 申請日 -
公開（公告）號 CN109904098B 公開（公告）日 2019-06-18
申請公布號 CN109904098B 申請公布日 2019-06-18
分類號 H01L21/67(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 甄敬格 申請（專利權(quán)）人 江蘇奧斯力特電子科技有限公司
代理機構(gòu) 北京棘龍知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 江蘇奧斯力特電子科技有限公司
地址 221100江蘇省徐州市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)第二工業(yè)園銀山路東、漓江路南安全科技產(chǎn)業(yè)園A1號樓一層北區(qū)及二層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及蝕刻系統(tǒng)，尤其涉及一種半導(dǎo)體圓片蝕刻系統(tǒng)。本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是提供一種半導(dǎo)體圓片蝕刻效果好、易將半導(dǎo)體圓片固定、操作簡單的半導(dǎo)體圓片蝕刻系統(tǒng)。為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供了這樣一種半導(dǎo)體圓片蝕刻系統(tǒng)，包括有支架、液體槽、輸送機構(gòu)、載板、頂板、液壓缸、第一安裝板、第二安裝板、電動吸盤、驅(qū)動機構(gòu)、連接桿、攪拌機構(gòu)、移動機構(gòu)、固定板、抽液泵、出液管、噴頭、磨筒、圓形滑套和第二電機；地面上放置有液體槽，液體槽內(nèi)兩側(cè)上部均固接有連接桿。本發(fā)明達到了能夠使半導(dǎo)體圓片蝕刻效果好、易將半導(dǎo)體圓片固定、操作簡單和能夠防止半導(dǎo)體圓片掉落的效果。??