一種芯片襯底材料清洗工裝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022572554.2 申請日 -
公開（公告）號 CN213583710U 公開（公告）日 2021-06-29
申請公布號 CN213583710U 申請公布日 2021-06-29
分類號 H01L21/67（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 宗恒軍;周文兵;崔鵬昌 申請（專利權(quán)）人 西安中科源升機電科技有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 710000陜西省西安市高新區(qū)西部大道170號豐澤科技園房號2#201
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種芯片襯底材料清洗工裝，包括有1個外框架（1），4個掛鉤提手（2），若干個隔離板（3）、若干個支撐圓柱（4）；外框架（1）兩側(cè)開設(shè)有若干個銷釘孔，其銷釘孔的大小與支撐圓柱（4）形成間隙配合，并在支撐圓柱（4）中間交叉排布若干個隔離板（3），隔離板（3）上開設(shè)了有若干個銷釘孔，其銷釘孔的大小與支撐圓柱（4）形成間隙配合，隔離板（3）之間的間距按照芯片襯底材料（5）的長度進行滑動調(diào)整，外框架（1）的另外兩側(cè)安裝4個掛鉤提手（2），兩側(cè)可以互換使用。本實用新型解決了現(xiàn)有工藝技術(shù)中存在的碰撞、磕碰、水印、劃痕等質(zhì)量問題。