一種碳化硅粉料的合成方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110959910.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113479889A 公開(kāi)（公告）日 2021-10-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN113479889A 申請(qǐng)公布日 2021-10-08
分類號(hào) C01B32/984（2017.01）I 分類 無(wú)機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 陳豆;關(guān)承浩;周玉潔;潘堯波 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 中電化合物半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海光華專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 苗曉娟
地址 315336浙江省寧波市杭州灣新區(qū)興慈一路290號(hào)3號(hào)樓105-1室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種碳化硅粉料的合成方法，包括：通過(guò)將高純碳粉和高純硅粉進(jìn)行混合，并裝入石墨坩堝內(nèi)，其中石墨坩堝內(nèi)設(shè)有氟化石墨內(nèi)襯，將所述石墨坩堝放置爐腔內(nèi)；將所述爐腔升溫，并在升溫過(guò)程中，向所述爐腔內(nèi)通入氫氣與惰性氣體的混合氣體，且所述氟化石墨內(nèi)襯分解釋放含氟氣體；抽出所述爐腔內(nèi)的氣體，使所述高純碳粉和所述高純硅粉反應(yīng)，得到中間相產(chǎn)物；將所述爐腔升溫，使所述中間相產(chǎn)物反應(yīng)生成碳化硅粉料。通過(guò)本發(fā)明提供的一種碳化硅粉料合成方法，能夠得到高純度的碳化硅粉料。