一種碳化硅外延生長設備及其氣源輸送裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120381895.3 申請日 -
公開（公告）號 CN214327969U 公開（公告）日 2021-10-01
申請公布號 CN214327969U 申請公布日 2021-10-01
分類號 C30B25/20（2006.01）I;C30B25/14（2006.01）I;C30B29/36（2006.01）I;C30B25/16（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 吳從俊;周長健 申請（專利權）人 中電化合物半導體有限公司
代理機構 上海光華專利事務所（普通合伙） 代理人 苗曉娟
地址 315336浙江省寧波市杭州灣新區(qū)興慈一路290號3號樓105-1室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供一種碳化硅外延生長設備及其氣源輸送裝置，其中，所述氣源輸送裝置包括多個氣源入口；氣源輸送通道，內部至少設有一個錐形結構體，所述錐形結構體將所述氣源輸送通道的內腔分隔成多個相互獨立的通道；及氣源混合區(qū)，設置在所述氣源輸送通道的出口端；所述氣源入口的數量與所述氣源輸送通道的內部的通道數量一致。本實用新型的氣源輸送裝置使生長源進入反應室之前混合更加均勻，提高碳化硅外延層的厚度均勻性及摻雜濃度的均勻性。