一種石墨容器及碳化硅單晶生長坩堝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021969440.5 申請日 -
公開（公告）號 CN213866496U 公開（公告）日 2021-08-03
申請公布號 CN213866496U 申請公布日 2021-08-03
分類號 C30B23/00（2006.01）I;C30B29/36（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 陳豆;李堅(jiān);馬遠(yuǎn) 申請（專利權(quán)）人 中電化合物半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海光華專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 夏苗苗
地址 315336浙江省寧波市杭州灣新區(qū)興慈一路290號3號樓105-1室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種石墨容器及碳化硅單晶生長坩堝。所述石墨容器包括：石墨容器本體，所述石墨容器本體內(nèi)裝載有含氯化合物；碳化硅塊體，安置于所述石墨容器本體內(nèi)，并位于所述含氯化合物的上方，以密封所述石墨容器本體；多孔蓋體，安置于所述石墨容器本體的上方。根據(jù)本實(shí)用新型提供的石墨容器可以調(diào)節(jié)碳化硅單晶生長氣氛中碳/硅比，從而解決碳化硅單晶生長初期化學(xué)氣氛富硅而導(dǎo)致的硅滴形成而造成的結(jié)晶缺陷。