石墨件及其處理方法、單晶生長(zhǎng)設(shè)備
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110645418.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN113185324A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-07-30 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113185324A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-07-30 |
| 分類(lèi)號(hào) | C04B41/50;C01B32/21;C30B23/02;C30B25/18;C30B29/36;C30B29/40 | 分類(lèi) | 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 薛衛(wèi)明;馬遠(yuǎn);潘堯波 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 中電化合物半導(dǎo)體有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海光華專(zhuān)利事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 盧炳瓊 |
| 地址 | 315336 浙江省寧波市杭州灣新區(qū)興慈一路290號(hào)3號(hào)樓105-1室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供一種石墨件及其處理方法，及單晶生長(zhǎng)設(shè)備。處理方法包括步驟：1）對(duì)石墨件進(jìn)行清洗干燥；2）于干燥的石磨件表面貼附與石墨件形狀相匹配的石墨紙，之后進(jìn)行固化；3）于石墨紙表面涂敷有機(jī)鉭溶液，鉭的涂覆量為0.001g/mm2?10g/mm2，然后依次經(jīng)干燥及高溫?zé)Y(jié)，從而在石墨紙表面獲得有裂紋的碳化鉭層；高溫?zé)Y(jié)的壓力在0.01mbar以下，溫度為1700℃?2500℃，高溫?zé)Y(jié)時(shí)間為6h?15h；4）將形成有碳化鉭層的石墨件冷卻后放入含硅材料中，在預(yù)設(shè)壓力和預(yù)設(shè)溫度下對(duì)石墨件進(jìn)行預(yù)定時(shí)長(zhǎng)的烘烤。相較于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明可以確保制備得到的石墨件在應(yīng)用于熱場(chǎng)環(huán)境中表面不被腐蝕，且準(zhǔn)備完成的石墨件具有相當(dāng)?shù)膹?qiáng)度，能夠?yàn)镻VT法單晶碳化硅晶體提供一定的結(jié)構(gòu)支撐。 |
