一種用于硅片清洗的清洗烘干一體的全自動清洗線

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210135211.0 申請日 -
公開（公告）號 CN114551300A 公開（公告）日 2022-05-27
申請公布號 CN114551300A 申請公布日 2022-05-27
分類號 H01L21/67（2006.01）I;B08B3/02（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 汪沛淵;吳超慧;王培業(yè) 申請（專利權）人 云南宇澤半導體有限公司
代理機構 昆明合眾智信知識產(chǎn)權事務所 代理人 -
地址 675000云南省楚雄彝族自治州楚雄市鹿城鎮(zhèn)陽光大道楚風苑南門東側
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種用于硅片清洗的清洗烘干一體的全自動清洗線，包括硅片清洗烘干一體機主體，硅片清洗烘干一體機主體內(nèi)安裝有安裝座，安裝座上安裝有若干清洗結構，清洗結構包括座板和一對旋轉機構，安裝座上設置有進水管和進氣管，旋轉機構包括清洗頭、蓋板以及軸桿，硅片從一對旋轉機構之間經(jīng)過。本發(fā)明中通過設置的清洗結構，使得在將清洗用的液體與氣體通入到清洗結構內(nèi)后即可使清洗液體和氣體能夠一同通過清洗頭噴向硅片的正反兩面，使得清洗硅片表面的清洗液能夠在清洗后被氣體吹走，從而增加了硅片的清洗效果，防止雜質(zhì)粘附在硅片表面的清洗液內(nèi)。