化料裝置及其使用方法
基本信息
申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202111214784.4 | 申請(qǐng)日 | - |
公開(kāi)(公告)號(hào) | CN114150368A | 公開(kāi)(公告)日 | 2022-03-08 |
申請(qǐng)公布號(hào) | CN114150368A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-03-08 |
分類號(hào) | C30B15/00(2006.01)I;C30B15/14(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分類 | 晶體生長(zhǎng)〔3〕; |
發(fā)明人 | 王培業(yè) | 申請(qǐng)(專利權(quán))人 | 云南宇澤半導(dǎo)體有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 南京經(jīng)緯專利商標(biāo)代理有限公司 | 代理人 | 王美章 |
地址 | 675099云南省楚雄彝族自治州楚雄市鹿城鎮(zhèn)陽(yáng)光大道楚風(fēng)苑南門東側(cè) | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明提供一種化料裝置及其使用方法,化料裝置包括坩堝及設(shè)于所述坩堝上方的水冷屏,所述化料裝置還包括隔熱機(jī)構(gòu),所述隔熱機(jī)構(gòu)包括隔熱板,所述隔熱板設(shè)于所述坩堝與所述水冷屏之間,所述隔熱板用于阻擋所述坩堝與所述水冷屏間的熱對(duì)流。 |
