一種單晶爐用熱場

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122514136.2 申請日 -
公開（公告）號 CN216738634U 公開（公告）日 2022-06-14
申請公布號 CN216738634U 申請公布日 2022-06-14
分類號 C30B15/14（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 王培業(yè);吳超慧 申請（專利權(quán)）人 云南宇澤半導(dǎo)體有限公司
代理機構(gòu) 南京經(jīng)緯專利商標代理有限公司 代理人 -
地址 675099云南省楚雄彝族自治州楚雄市鹿城鎮(zhèn)陽光大道楚風(fēng)苑南門東側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種單晶爐用熱場，屬于單晶生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。它包括上蓋；保溫筒，其連接于上蓋下方，保溫筒自上而下依次包括上保溫筒、中保溫筒和下保溫筒，中保溫筒和下保溫筒外徑相同；爐底，其連接于保溫筒下方；保溫筒內(nèi)設(shè)有堝幫；中保溫筒與堝幫間設(shè)有加熱器圈；還包括中保支撐環(huán)，其設(shè)于中保溫筒與下保溫筒之間，中保支撐環(huán)的外側(cè)壁直徑與中保溫筒外徑相同，中保支撐環(huán)的內(nèi)側(cè)壁直徑與加熱器圈內(nèi)徑相同。本實用新型中保支撐環(huán)的結(jié)構(gòu)設(shè)置能在單晶發(fā)生打火導(dǎo)致加熱器腳斷裂時，對掉落的加熱器圈提供有效支撐，避免其掉落損壞及砸壞單晶其他熱場，減少熱場在事故中的損耗，增加熱場的使用壽命，具有結(jié)構(gòu)簡單、設(shè)計合理、易于制造的優(yōu)點。