固晶設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> 2020104362153 申請日 -
公開（公告）號 CN111584698B 公開（公告）日 2020-08-25
申請公布號 CN111584698B 申請公布日 2020-08-25
分類號 H01L33/48(2010.01)I;H01L21/67(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 胡新榮 申請（專利權(quán)）人 中山市新益昌自動化設(shè)備有限公司
代理機構(gòu) 深圳中一聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 陳延僑
地址 528400廣東省中山市火炬開發(fā)區(qū)火炬路17號之二1樓101
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及自動化設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體的說是涉及一種固晶設(shè)備，包括：傳送裝置，用于驅(qū)動基板從前往后移動，且依次經(jīng)過進板工位、固晶工位、出板工位；供料裝置，用于供應(yīng)晶片；至少兩個固晶裝置，各固晶裝置沿前后方向相對設(shè)置，且均設(shè)置于固晶工位，其中，固晶裝置包括至少兩個固晶單元，各固晶單元從供料裝置獲取晶片，并分別固定在基板不同區(qū)域固晶，固晶單元包括邦頭機構(gòu)、與邦頭機構(gòu)連接的位移驅(qū)動機構(gòu)，邦頭機構(gòu)能夠在供料裝置處抓取多個晶片并在固晶工位處固定晶片，位移驅(qū)動機構(gòu)用于驅(qū)動邦頭機構(gòu)在供料裝置和固晶工位之間往復(fù)移動。本發(fā)明減少了固定單元的活動范圍，如此，可減少固晶單元的位移偏差，從而提高固晶精度。??