邦頭機(jī)構(gòu)以及固晶設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010436210.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN111564394B 公開（公告）日 2020-12-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN111564394B 申請(qǐng)公布日 2020-12-18
分類號(hào) H01L21/67;H01L21/683;H01L33/48 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 胡新榮 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 中山市新益昌自動(dòng)化設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳中一聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 中山市新益昌自動(dòng)化設(shè)備有限公司
地址 528400 廣東省中山市火炬開發(fā)區(qū)火炬路17號(hào)之二1樓101
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于固晶技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種邦頭機(jī)構(gòu)以及固晶設(shè)備，其中，邦頭機(jī)構(gòu)包括邦頭安裝板以及至少兩個(gè)均安裝于邦頭安裝板的固晶邦頭，其中，固晶邦頭包括固晶吸嘴、聯(lián)動(dòng)塊、固晶驅(qū)動(dòng)器以及電機(jī)安裝座，電機(jī)安裝座連接于邦頭安裝板，固晶吸嘴用于接收負(fù)壓氣體連接并利用負(fù)壓氣體吸持晶片，聯(lián)動(dòng)塊與固晶吸嘴連接，固晶驅(qū)動(dòng)器連接于電機(jī)安裝座，并用于驅(qū)動(dòng)聯(lián)動(dòng)塊上下運(yùn)動(dòng)，且在驅(qū)動(dòng)聯(lián)動(dòng)塊向下運(yùn)動(dòng)過程中將固晶吸嘴上吸持的晶片固定到基板上。各固晶邦頭均包括固晶吸嘴、聯(lián)動(dòng)塊以及固晶驅(qū)動(dòng)器，各固晶邦頭都是獨(dú)立作業(yè)，互不干擾，各固晶邦頭可根據(jù)各自對(duì)應(yīng)位置的固晶作業(yè)需求進(jìn)行適應(yīng)性調(diào)整，進(jìn)行差異化固晶作業(yè)，從而提高邦頭機(jī)構(gòu)的固晶質(zhì)量。