固晶設(shè)備
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010436215.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN111584698A | 公開（公告）日 | 2020-08-25 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111584698A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-08-25 |
| 分類號(hào) | H01L33/48(2010.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 胡新榮 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 中山市新益昌自動(dòng)化設(shè)備有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 深圳中一聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 中山市新益昌自動(dòng)化設(shè)備有限公司 |
| 地址 | 528400廣東省中山市火炬開發(fā)區(qū)火炬路17號(hào)之二1樓101 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及自動(dòng)化設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體的說是涉及一種固晶設(shè)備，包括：傳送裝置，用于驅(qū)動(dòng)基板從前往后移動(dòng)，且依次經(jīng)過進(jìn)板工位、固晶工位、出板工位；供料裝置，用于供應(yīng)晶片；至少兩個(gè)固晶裝置，各固晶裝置沿前后方向相對(duì)設(shè)置，且均設(shè)置于固晶工位，其中，固晶裝置包括至少兩個(gè)固晶單元，各固晶單元從供料裝置獲取晶片，并分別固定在基板不同區(qū)域固晶，固晶單元包括邦頭機(jī)構(gòu)、與邦頭機(jī)構(gòu)連接的位移驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，邦頭機(jī)構(gòu)能夠在供料裝置處抓取多個(gè)晶片并在固晶工位處固定晶片，位移驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動(dòng)邦頭機(jī)構(gòu)在供料裝置和固晶工位之間往復(fù)移動(dòng)。本發(fā)明減少了固定單元的活動(dòng)范圍，如此，可減少固晶單元的位移偏差，從而提高固晶精度。?? |
