一種光學(xué)相位延遲精密測(cè)量方法及其系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN200710178950.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN101183043A 公開（公告）日 2008-05-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN101183043A 申請(qǐng)公布日 2008-05-21
分類號(hào) G01M11/02(2006.01) 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 宋菲君;范玲;俞蕾;韓永剛;林海晏;宋建力;姚思一 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 大恒新紀(jì)元科技股份有限公司北京光電技術(shù)研究所
代理機(jī)構(gòu) 北京君尚知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 代理人 余長(zhǎng)江
地址 100085北京市海淀區(qū)上地信息路甲9號(hào)3號(hào)樓2層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種光學(xué)相位延遲精密測(cè)量方法及其系統(tǒng)，本發(fā)明的系統(tǒng)包括激光器、起偏器、光調(diào)制器、調(diào)制信號(hào)源、待測(cè)相位延遲器、相位補(bǔ)償器、檢偏器、光探測(cè)器、結(jié)果輸出單元，本發(fā)明的方法通過在光路中加入光調(diào)制器對(duì)檢測(cè)偏振光進(jìn)行光調(diào)制，產(chǎn)生調(diào)制偏振光，結(jié)果顯示單元對(duì)接收信號(hào)濾波處理后實(shí)現(xiàn)將直流零點(diǎn)的測(cè)量轉(zhuǎn)換交流零點(diǎn)的測(cè)量，從而準(zhǔn)確判斷極值點(diǎn)位置，提高了測(cè)量精度。本發(fā)明測(cè)量簡(jiǎn)單方便，結(jié)果準(zhǔn)確可靠，精度可達(dá)到λ/300，適用于波片等光學(xué)延遲器件的生產(chǎn)和銷售部門對(duì)產(chǎn)品的檢驗(yàn)。