單一波長光源測量不同波長相位延遲器件的方法及其系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200910088316.X 申請日 -
公開（公告）號 CN101592525A 公開（公告）日 2009-12-02
申請公布號 CN101592525A 申請公布日 2009-12-02
分類號 G01J9/00(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 宋菲君;張穎 申請（專利權(quán)）人 大恒新紀(jì)元科技股份有限公司北京光電技術(shù)研究所
代理機(jī)構(gòu) 北京君尚知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 余功勛
地址 100085北京市海淀區(qū)上地信息路甲9號3號樓2層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種利用單一波長光源測量不同波長相位延遲器件的方法及其系統(tǒng)，屬于光學(xué)測量技術(shù)領(lǐng)域。本系統(tǒng)激光光源經(jīng)光分束器分為兩束，一束依次經(jīng)過起偏器、光調(diào)制器、待測相位延遲器、相位補(bǔ)償器、檢偏器、光探測器后由結(jié)果顯示單元顯示輸出結(jié)果；另一束輸出至激光單色儀；本發(fā)明方法為：系統(tǒng)搭建后首先測量一組不同波長光源各自所對應(yīng)的相位補(bǔ)償器平移量；然后根據(jù)所測數(shù)據(jù)建立一擬和曲線；將待測相位延遲器加入到光路后，任選一波長激光光源，調(diào)節(jié)相位補(bǔ)償器，記錄補(bǔ)償距離ΔL；最后根據(jù)擬和曲線和補(bǔ)充距離ΔL計(jì)算待測相位延遲器的相位延遲量δS。本發(fā)明可對任意中心波長的待測相位延遲器進(jìn)行直接測量，而且測量精度高、操作簡單，易于產(chǎn)品化。