一種酸洗槽去除氣泡裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202023280074.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN215822411U | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-02-15 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN215822411U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-02-15 |
| 分類(lèi)號(hào) | B01D19/02（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分類(lèi) | 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置; |
| 發(fā)明人 | 張展;鄧信甫;徐銘;陳佳煒 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 上海至純潔凈系統(tǒng)科技股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海申新律師事務(wù)所 | 代理人 | 沈棟棟 |
| 地址 | 200241上海市閔行區(qū)紫海路170號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種酸洗槽去除氣泡裝置，涉及到去氣泡技術(shù)領(lǐng)域，包括幫浦、酸液過(guò)濾器、分流管路、導(dǎo)流結(jié)構(gòu)和破氣泡結(jié)構(gòu)，其中，酸液過(guò)濾器位于幫浦的上側(cè)，且?guī)推诌B接酸液過(guò)濾器，酸液過(guò)濾器的出液口連接分流管路；分流管路包括第一管路和第二管路，第一管路的一端與出液口連接，第一管路的另一端與第二管路的一端連接，其中，第二管路的一端內(nèi)壁上設(shè)有一液體回流面和設(shè)于液體回流面下側(cè)的破氣泡結(jié)構(gòu)，第二管路的一端內(nèi)壁上還設(shè)有一導(dǎo)流結(jié)構(gòu)，導(dǎo)流結(jié)構(gòu)與破氣泡結(jié)構(gòu)相正對(duì)。其利用簡(jiǎn)易的分流管路與幫浦的推動(dòng)力作用，即可產(chǎn)生將液泡分離的作用，達(dá)成在輸送各種溶劑或是混合溶液至晶圓濕法工藝區(qū)移除氣泡的具體作用。 |
