一種用于半導(dǎo)體濕法工藝的混酸系統(tǒng)
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202023322381.5 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN215586009U | 公開（公告）日 | 2022-01-21 |
| 申請公布號(hào) | CN215586009U | 申請公布日 | 2022-01-21 |
| 分類號(hào) | B01F23/40（2022.01）I;B01F35/83（2022.01）I | 分類 | 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置; |
| 發(fā)明人 | 鄧信甫;李志鋒;徐銘;陳佳煒;劉大威 | 申請（專利權(quán)）人 | 上海至純潔凈系統(tǒng)科技股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海智力專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 杜冰云;周濤 |
| 地址 | 200241上海市閔行區(qū)紫海路170號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種用于半導(dǎo)體濕法工藝的混酸系統(tǒng)，包括槽式濕法清洗設(shè)備和混酸裝置，混酸裝置包括殼體，分別設(shè)置在殼體內(nèi)部不同腔室內(nèi)的氣路單元和液路單元；所述氣路單元用以控制液路單元的管路壓力；所述液路單元包括多個(gè)進(jìn)液管、混液閥、排液管和出液管，進(jìn)液管用于將不同液體輸送入混液閥進(jìn)行瞬時(shí)混合，多個(gè)進(jìn)液管并聯(lián)連接至混液閥的進(jìn)液口；排液管和出液管分別連接至混液閥的出液口，出液管用于將混液閥內(nèi)混合均勻的混合液輸送至所述槽式濕法清洗設(shè)備的清洗槽中。本實(shí)用新型能夠精確控制濕法清洗溶液中的混酸濃度，提高了發(fā)應(yīng)性溶液的配比精度，同時(shí)也能大大提高反應(yīng)性溶液的配比效率。 |
