去除晶體表面氧化物的裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120418414.1 申請日 -
公開（公告）號 CN215394461U 公開（公告）日 2022-01-04
申請公布號 CN215394461U 申請公布日 2022-01-04
分類號 B24B27/033（2006.01）I;B24B41/06（2012.01）I;G01N1/28（2006.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 孟杰;趙靜敏;袁澤海;趙邦超;周曉霞;董娓 申請（專利權(quán)）人 有研光電新材料有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 北京辰權(quán)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 佟林松
地址 065201 河北省廊坊市三河市燕郊興都村南有研科技集團(tuán)有限公司二部
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供了一種去除晶體表面氧化物的裝置，該裝置包括裝置本體、固定件、打磨器組件和控制組件；所述固定件和所述打磨器組件均設(shè)置在所述裝置本體上，并且通過所述固定件固定待加工樣品；所述控制組件連接并驅(qū)動所述打磨器組件工作，并且所述控制組件用于調(diào)整所述打磨器組件相對于所述待加工樣品的打磨位置。該裝置通過控制組件驅(qū)動打磨器組件對待加工樣品進(jìn)行打磨，無需手工進(jìn)行打磨，提高效率；并且還可以通過控制組件調(diào)整打磨器組件相對于待加工樣品的打磨位置及打磨程度，確保打磨的全方位性及一致性。