石英坩堝腐蝕桶及腐蝕結(jié)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120384787.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN215480535U 公開（公告）日 2022-01-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN215480535U 申請(qǐng)公布日 2022-01-11
分類號(hào) C03B20/00（2006.01）I 分類 玻璃；礦棉或渣棉;
發(fā)明人 柴晨;閔振東;王博;魏煒;林泉;馬英俊;許興;李萬朋;張路;劉向前 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 有研光電新材料有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 北京辰權(quán)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王志紅
地址 065201 河北省廊坊市三河市燕郊興都村南有研科技集團(tuán)有限公司二部
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體加工技術(shù)領(lǐng)域，具體公開了一種石英坩堝腐蝕桶及腐蝕結(jié)構(gòu)，包括：桶體，頂部具有開口，用于盛放腐蝕液；桶蓋，蓋設(shè)在開口上；支撐凸起，設(shè)置在桶體的底面，用于支撐石英坩堝。通過在桶體內(nèi)設(shè)置支撐凸起，一方面可以支撐懸空倒扣的石英坩堝，使得石英坩堝充分腐蝕，另一方面支撐凸起可以占用桶體的部分空間，達(dá)到節(jié)省腐蝕液、降低成本的目的。