半導(dǎo)體加工用卡具

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120417308.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN215470602U 公開（公告）日 2022-01-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN215470602U 申請(qǐng)公布日 2022-01-11
分類號(hào) B25B11/00（2006.01）I 分類 手動(dòng)工具；輕便機(jī)動(dòng)工具；手動(dòng)器械的手柄；車間設(shè)備；機(jī)械手;
發(fā)明人 李愛兵;張偉;權(quán)盼;張艷生;韓健;曹寶歡;李彬 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 有研光電新材料有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 北京辰權(quán)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王志紅
地址 065201 河北省廊坊市三河市燕郊興都村南有研科技集團(tuán)有限公司二部
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體加工技術(shù)領(lǐng)域，具體公開了一種半導(dǎo)體加工用卡具，包括：立式支撐板；托架，具有用于固定待加工半導(dǎo)體的卡槽，且托架與支撐板活動(dòng)連接，以實(shí)現(xiàn)托架的長(zhǎng)度可調(diào)以及托架的旋轉(zhuǎn)。通過設(shè)置與支撐板活動(dòng)連接的托架，使得所述托架的長(zhǎng)度可調(diào)以及所述托架的旋轉(zhuǎn)，從而實(shí)現(xiàn)卡具可適應(yīng)不同長(zhǎng)度以及不同晶向的半導(dǎo)體加工件，此外，通過設(shè)置與夾持頭活動(dòng)連接的側(cè)板，使得卡槽的尺寸可以調(diào)節(jié)，進(jìn)而適應(yīng)不同直徑的半導(dǎo)體加工件，從而解決更換不同卡具的問題，提高了工作效率。