一種銅基材上濺射鋁層的方法及鋁原子轉(zhuǎn)移性銅塑膜

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110171884.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN112941481A 公開(kāi)（公告）日 2021-06-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN112941481A 申請(qǐng)公布日 2021-06-11
分類(lèi)號(hào) C23C14/35;H01M50/124;H01M50/119;H01M50/145;H01M50/131;H01M10/0525 分類(lèi) 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 沈曉宇 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 浙江東尼電子股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 浙江千克知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 沈濤
地址 313000 浙江省湖州市吳興區(qū)織里鎮(zhèn)利濟(jì)東路555號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于鋰電池包裝材料技術(shù)領(lǐng)域，具體公開(kāi)了一種銅基材上濺射鋁層的方法及鋁原子轉(zhuǎn)移性銅塑膜。所述銅基材上濺射鋁層的方法是以摻雜有橋接金屬的合金鋁靶作為第一靶材，通過(guò)惰性氣體離子轟擊第一靶材表面，使第一靶材表面原子溢出并沉積在銅基材表面形成預(yù)射層；然后以純鋁靶作為第二靶材,通過(guò)惰性氣體離子轟擊第二靶材表面，使第二靶材表面原子溢出并覆蓋在預(yù)射層表面形成主體層。本發(fā)明能夠克服銅基材與鋁層結(jié)合難度大的問(wèn)題，制成的鋁原子轉(zhuǎn)移性銅塑膜不易分層，保證了軟包電池的安全性。