壓阻式高頻動態(tài)土應(yīng)力傳感器及制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310046809.3 申請日 -
公開（公告）號 CN103175639B 公開（公告）日 2016-01-27
申請公布號 CN103175639B 申請公布日 2016-01-27
分類號 G01L1/18(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 沈嬌艷;唐運(yùn)海;程新利;王冰;秦長發(fā);潘濤;王文襄 申請（專利權(quán)）人 昆山昆博智能感知產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州創(chuàng)元專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 范晴
地址 215009 江蘇省蘇州市科銳路1號蘇州科技學(xué)院數(shù)理學(xué)院
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種壓阻式高頻動態(tài)土應(yīng)力傳感器及其制備方法，傳感器包括傳感器殼體（7）、應(yīng)力敏感組件、信號調(diào)理放大電路（11）和引出電纜（13），所述應(yīng)力敏感組件包括基底（1）—絕緣隔離層（2）—應(yīng)變電阻（3）—絕緣保護(hù)層（5）構(gòu)成的結(jié)構(gòu)；且所述應(yīng)力敏感組件通過高硼硅玻璃（6）封接于傳感器殼體（7）前端的固支臺階（18）。本發(fā)明的傳感器敏感組件集成有應(yīng)變電阻（3）和調(diào)整電阻（19），有效減小體積，簡化了加工工藝，降低制作成本，容易實(shí)現(xiàn)大批量生產(chǎn)，提高了產(chǎn)品性價比和市場競爭力。