微型動(dòng)態(tài)滲透水壓力傳感器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201310653653.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN103674396B 公開（公告）日 2016-06-01
申請(qǐng)公布號(hào) CN103674396B 申請(qǐng)公布日 2016-06-01
分類號(hào) G01L9/00(2006.01)I;G01L19/06(2006.01)I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 程新利;唐運(yùn)海;沈嬌艷;王冰;秦長發(fā);潘濤;臧濤成;王文襄 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 昆山昆博智能感知產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州創(chuàng)元專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 蘇州科技學(xué)院;昆山雙橋傳感器測(cè)控技術(shù)有限公司
地址 215009 江蘇省蘇州市高新區(qū)科銳路1號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種微型動(dòng)態(tài)滲透水壓力傳感器，包括殼體、杯形基底、不銹鋼后蓋、透水石層和信號(hào)調(diào)制放大模塊；杯形基底內(nèi)壁具有臺(tái)階面，一透水石層安裝于所述杯形基底的臺(tái)階面上；杯形基底嵌入所述前置腔內(nèi)并安裝于所述殼體的臺(tái)階圓環(huán)面上；不銹鋼后蓋安裝于所述殼體位于后置腔的一端，氮化硅薄膜覆蓋于所述杯形基底的內(nèi)表面；杯形基底與透水石層相背的表面具有壓力敏感組件，第一引線跨接于所述壓力敏感組件和信號(hào)調(diào)制放大模塊一端之間，一信號(hào)纜嵌入不銹鋼后蓋的通孔內(nèi)并通過第二引線連接到所述信號(hào)調(diào)制放大模塊另一端。本發(fā)明提高壓力傳感器的動(dòng)態(tài)頻響和測(cè)量精度，既大大提升了量程，又提高了感應(yīng)的精度和靈敏性，且提高了壓力傳感器的信號(hào)線性度。