一種高選擇性高靈敏度的半導(dǎo)體丙酮傳感器的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910417147.3 申請日 -
公開（公告）號 CN110161086A 公開（公告）日 2019-08-23
申請公布號 CN110161086A 申請公布日 2019-08-23
分類號 G01N27/12 分類 測量；測試;
發(fā)明人 章偉;成穗實;胡雪峰 申請（專利權(quán)）人 安徽六維傳感科技有限公司
代理機構(gòu) 南京經(jīng)緯專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 朱小兵
地址 210009 江蘇省南京市鼓樓區(qū)新模范馬路5號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種高選擇性高靈敏度的半導(dǎo)體丙酮傳感器的制備方法。該制備方法包括以下步驟：按質(zhì)量比為1:99稱量SnO2和IN2O3，然后加入乙醇混合球磨得混合物A；將步驟1中混合物A烘干后，加入粘合劑，造粒得母粒；將母粒使用壓片機按壓成型，然后放入管式爐燒結(jié)得靶材；清洗平面電極，與靶材一起裝入磁控濺射設(shè)備腔體內(nèi)，然后開始沉積薄膜；沉積結(jié)束后，將樣品取出封裝成傳感器的半成品，然后將半成品在空氣中240℃下老化7天，即得半導(dǎo)體丙酮傳感器。本發(fā)明通過磁控濺射制備的摻雜S nO2的IN2O3薄膜氣敏材料，可以在較低溫度下檢測ppb級別的丙酮，檢測限在20ppb，并且具有較高的選擇性。