一種集成電路行業(yè)廢硫酸回收利用方法及系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110893634.4 申請日 -
公開（公告）號 CN113336198A 公開（公告）日 2021-09-03
申請公布號 CN113336198A 申請公布日 2021-09-03
分類號 C01B17/90（2006.01）I;C01B17/88（2006.01）I 分類 無機化學;
發(fā)明人 陳福泰;白立強;楊艷;王瓊 申請（專利權）人 清大國華環(huán)境集團股份有限公司
代理機構 北京維正專利代理有限公司 代理人 李愛民
地址 100089北京市海淀區(qū)上地三街9號C幢C404
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種集成電路行業(yè)廢硫酸回收利用方法及系統(tǒng)，屬于危險廢物處置技術領域。該方法包括以下步驟：S1、加熱：在催化劑的存在下，將待處理的廢硫酸加熱至25?90℃，加熱1?2h，制得稀硫酸；S2、濃縮：將步驟S1制得的稀硫酸進行濃縮，濃縮溫度為110?160℃，濃縮4?8h，制得濃硫酸；S3、精餾：將步驟S2制得的濃硫酸進行精餾，精餾2?4h，制得高純硫酸。該回收利用方法及系統(tǒng)不僅可以減少廢硫酸在排放過程中對環(huán)境造成污染的可能性，而且能夠通過該方法，去除廢硫酸中的過氧化氫、其他微量陰離子雜質和金屬離子雜質，并且不帶入其他雜質，制得高純度的硫酸，該硫酸可作為化學試劑使用，從而減少資源浪費。