HEMT器件柵泄漏電流中臺面泄漏電流的測試方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410319025.8 申請日 -
公開（公告）號 CN104062485B 公開（公告）日 2016-08-17
申請公布號 CN104062485B 申請公布日 2016-08-17
分類號 G01R19/00(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 鄭雪峰;范爽;孫偉偉;張建坤;康迪;王沖;杜鳴;曹艷榮;馬曉華;郝躍 申請（專利權(quán)）人 云南凝慧電子科技有限公司
代理機構(gòu) 陜西電子工業(yè)專利中心 代理人 王品華;朱紅星
地址 710071 陜西省西安市太白南路2號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種HEMT器件柵泄漏電流中臺面泄漏電流的測試方法，主要解決現(xiàn)有技術(shù)不能對HEMT器件的柵泄漏電流中臺面泄漏電流分離的問題。其實現(xiàn)方案是：制作與被測HEMT器件結(jié)構(gòu)相同，柵電極和源漏電極寬度均為被測HEMT器件α倍的測試輔助器件，α>0且α≠1；利用半導(dǎo)體參數(shù)測試設(shè)備分別測試被測HEMT器件和HEMT測試輔助器件的柵泄漏電流；將被測HEMT器件的柵泄漏電流乘以α倍與HEMT測試輔助器件柵泄漏電流作差，將結(jié)果除以(α?1)項，得到被測HEMT器件的臺面泄漏電流。本發(fā)明測試方法快速簡便，結(jié)果準確可靠，能夠為后續(xù)分析柵泄漏電流中臺面泄漏電流產(chǎn)生機理和提高HEMT器件的可靠性提供依據(jù)。