一種超高精度的硅象限光電探測器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010762493.8 申請日 -
公開(公告)號(hào) CN112054075A 公開(公告)日 2020-12-08
申請公布號(hào) CN112054075A 申請公布日 2020-12-08
分類號(hào) H01L31/0352(2006.01)I;H01L31/103(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 卜京;王亞赫;卜暉;朱華海 申請(專利權(quán))人 重慶鷹谷光電股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 重慶百潤洪知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 重慶鷹谷光電股份有限公司
地址 400000重慶市經(jīng)開區(qū)丹龍路7號(hào)E幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種超高精度的硅象限光電探測器,在各象限光敏元之間及其周圍的襯底表面設(shè)置一個(gè)環(huán)極,該環(huán)極是用與襯底同型雜質(zhì),并與襯底背面電極同時(shí)擴(kuò)散或注入形成的高低結(jié),該環(huán)極通過引線與襯底背面的各象限光敏元的公共電極直接相連;在“雙四”象限光電探測器的“內(nèi)四”與“外四”象限光敏元之間不設(shè)置環(huán)極,在“單四”象限光電探測器的光敏元外沿所對應(yīng)的環(huán)極中央部位,開設(shè)一個(gè)寬度為該光敏元外沿弧長的1/2~1/4的缺口。當(dāng)帶有環(huán)極缺口的該光敏元光照較強(qiáng)時(shí),光敏元所產(chǎn)生的部分光生載流子,可以經(jīng)電子通道分別進(jìn)入“雙四”的“外四”光敏元和“單四”光敏元周邊的隔離二極管,從而提高光電探測器的飽和光功率,實(shí)現(xiàn)制導(dǎo)系統(tǒng)“深控”的目的。??