一種化學(xué)氣相沉積金剛石的裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200910075864.9 申請日 -
公開（公告）號 CN101709457B 公開（公告）日 2013-08-28
申請公布號 CN101709457B 申請公布日 2013-08-28
分類號 C23C16/27(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 郭輝;姜龍;張永貴;何奇宇;王志娜 申請（專利權(quán)）人 河北平鉆人造金剛石有限公司
代理機(jī)構(gòu) 石家莊新世紀(jì)專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 張貳群
地址 050081 河北省石家莊市橋西區(qū)友誼南大街46號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種化學(xué)氣相沉積金剛石的裝置，涉及功能材料制備技術(shù)領(lǐng)域。本裝置包括直流電弧噴射等離子炬，真空室，襯底，在真空室和等離子炬間設(shè)有氣體回用機(jī)構(gòu)。與已有技術(shù)對比，本發(fā)明很好地解決了現(xiàn)有技術(shù)利用直流電弧噴射法化學(xué)氣相沉積金剛石過程中長期存在的氣體消耗量大的問題,其結(jié)構(gòu)簡單，工藝合理，不僅能保證產(chǎn)品的質(zhì)量，而且可大大節(jié)省工質(zhì)氣體用量，大大降低成本，減少排放，有利于環(huán)保，具有良好的經(jīng)濟(jì)效益和社會效益。