一種化學(xué)氣相沉積金剛石或其它物質(zhì)的裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN200910075864.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN101709457A 公開(kāi)（公告）日 2010-05-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN101709457A 申請(qǐng)公布日 2010-05-19
分類(lèi)號(hào) C23C16/27(2006.01)I 分類(lèi) 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 郭輝;姜龍;張永貴;何奇宇;王志娜 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 河北平鉆人造金剛石有限公司
代理機(jī)構(gòu) 石家莊新世紀(jì)專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 河北普萊斯曼金剛石科技有限公司;河北平鉆人造金剛石有限公司
地址 050081 河北省石家莊市橋西區(qū)友誼南大街46號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種化學(xué)氣相沉積金剛石或其它物質(zhì)的裝置，涉及功能材料制備技術(shù)領(lǐng)域。本裝置包括直流電弧噴射等離子炬，真空室，襯底，在真空室和等離子炬間設(shè)有氣體回用機(jī)構(gòu)。與已有技術(shù)對(duì)比，本發(fā)明很好地解決了現(xiàn)有技術(shù)利用直流電弧噴射法化學(xué)氣相沉積金剛石過(guò)程中長(zhǎng)期存在的氣體消耗量大的問(wèn)題，其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，工藝合理，不僅能保證產(chǎn)品的質(zhì)量，而且可大大節(jié)省工質(zhì)氣體用量，大大降低成本，減少排放，有利于環(huán)保，具有良好的經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益。