一種晶體載盤
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202022194337.4 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN212909451U | 公開（公告）日 | 2021-04-06 |
| 申請公布號 | CN212909451U | 申請公布日 | 2021-04-06 |
| 分類號 | H03H3/02(2006.01)I | 分類 | 基本電子電路; |
| 發(fā)明人 | 高靜;江勇 | 申請（專利權(quán)）人 | 杭州愛晶倫科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 無錫市匯誠永信專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 李珍珍 |
| 地址 | 310000浙江省杭州市余杭區(qū)五常街道文一西路998號4幢204室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申請涉及晶體加工領(lǐng)域，特別是涉及一種晶體載盤，其用以解決相關(guān)技術(shù)中無法只對載盤損壞部分進(jìn)行替換，成本較高的問題；包括載盤本體和與載盤本體相匹配的固定件，載盤本體上設(shè)有至少一個(gè)固定口和固定槽，固定槽位于固定口兩側(cè)并與固定口相通，固定口和固定槽上活動(dòng)設(shè)有放置單元。?? |
