一種防短路的點(diǎn)型蒸發(fā)源

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121362988.8 申請日 -
公開(公告)號 CN215251128U 公開(公告)日 2021-12-21
申請公布號 CN215251128U 申請公布日 2021-12-21
分類號 C23C14/26(2006.01)I;C23C14/14(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面化學(xué)處理;金屬材料的擴(kuò)散處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆;金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 李有亮 申請(專利權(quán))人 成都駿創(chuàng)科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州堅(jiān)果知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 張劍英
地址 611731四川省成都市高新區(qū)西區(qū)大道199號A1棟4層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及蒸鍍技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種防短路的點(diǎn)型蒸發(fā)源,一種防短路的點(diǎn)型蒸發(fā)源,包括金屬殼體、加熱框架和坩堝;所述加熱框架固定在金屬殼體的內(nèi)側(cè)壁上;所述坩堝配置在加熱框架所限定的范圍內(nèi);所述加熱框架包括:加熱件,用于加熱并氣化坩堝內(nèi)的金屬材料;支撐件,用于將加熱件固定在金屬殼體的內(nèi)側(cè)壁上;隔離件,其為絕緣設(shè)置且配置在加熱件和支撐件之間,以防止沉積在加熱框架上的金屬材料將金屬殼體與加熱件電連接;可有效地預(yù)防短路的發(fā)生。