一種用于PVD預(yù)清潔腔的中央供氣頂蓋結(jié)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202123399095.3 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN216891165U 公開(公告)日 2022-07-05
申請(qǐng)公布號(hào) CN216891165U 申請(qǐng)公布日 2022-07-05
分類號(hào) C23C14/02(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆;用金屬材料對(duì)材料的鍍覆;表面化學(xué)處理;金屬材料的擴(kuò)散處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆;金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 王蜀豫 申請(qǐng)(專利權(quán))人 杭州晶通科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 代理人 -
地址 311121浙江省杭州市余杭區(qū)文一西路1217號(hào)IT公園1號(hào)樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種用于PVD預(yù)清潔腔的中央供氣頂蓋結(jié)構(gòu),包括可通過設(shè)置于預(yù)清潔腔體一側(cè)的鉸鏈側(cè)向打開的可開合頂蓋,頂蓋中央設(shè)有能夠?qū)ǖ筋A(yù)清潔腔體內(nèi)的氣孔,頂蓋上表面上設(shè)有環(huán)繞在氣孔周向的磁鐵環(huán)形陣列,氣孔通過轉(zhuǎn)接管道連接到遠(yuǎn)離頂蓋鉸鏈側(cè)的在頂蓋上豎向設(shè)置的第一氣孔通道,在頂蓋的下表面還設(shè)有能夠和頂蓋進(jìn)行開合配合的形狀大小完全相同的高度調(diào)節(jié)塊,高度調(diào)節(jié)塊為環(huán)形,中央為能夠和頂蓋中央氣孔配合的環(huán)形通道,對(duì)應(yīng)于頂蓋上第一氣孔通道的位置,在高度調(diào)節(jié)塊上設(shè)置能夠連通高度調(diào)節(jié)塊上表面和遠(yuǎn)離頂蓋鉸鏈的側(cè)壁面的L型的第二氣孔通道。本實(shí)用新型通過將進(jìn)氣管道布置在預(yù)清潔反應(yīng)腔頂蓋中央,大幅提高預(yù)清潔的均勻性。