聚酰亞胺圖形化薄膜制備用聚合固化裝置及制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110133909.4 申請日 -
公開（公告）號 CN112786496A 公開（公告）日 2021-05-11
申請公布號 CN112786496A 申請公布日 2021-05-11
分類號 H01L21/67 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王新;蔣振雷 申請（專利權(quán)）人 杭州晶通科技有限公司
代理機構(gòu) 南京蘇高專利商標事務(wù)所（普通合伙） 代理人 張超
地址 311121 浙江省杭州市余杭區(qū)文一西路1217號IT公園1號樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種聚酰亞胺圖形化薄膜制備用聚合固化裝置，包括腔體，腔體上有能夠和外界完全隔絕的可封閉門，腔體側(cè)壁內(nèi)預(yù)埋了若干冷卻循環(huán)水管，腔體內(nèi)設(shè)有升降臺，升降臺上設(shè)有晶圓支架，晶圓支架沿垂直方向設(shè)有多個能夠單獨對晶圓進行加熱的加熱盤，腔體上還設(shè)有氮氣進口、氣壓檢測裝置、溫度檢測裝置和真空泵，溫度檢測裝置為溫度傳感器，且溫度傳感器的檢測方向沿斜下的方向朝向任一晶圓支架上的加熱盤。本發(fā)明還公開了此種聚酰亞胺圖形化薄膜的制備方法。采用本發(fā)明的設(shè)計方案，通過真空梯度熱處理法來完成聚酰亞胺薄膜的聚合固化，使得光刻后圖形化的聚酰亞胺薄膜仍然能保持規(guī)整的立體形貌。