光致抗蝕劑剝離劑組合物以及光致抗蝕劑剝離方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201080002286.7 申請日 -
公開（公告）號 CN102124414B 公開（公告）日 2014-04-02
申請公布號 CN102124414B 申請公布日 2014-04-02
分類號 G03F7/42(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I 分類 攝影術；電影術；利用了光波以外其他波的類似技術；電記錄術；全息攝影術〔4〕;
發(fā)明人 安江秀國 申請（專利權）人 綿陽澄泓微電子材料有限公司
代理機構 北京三友知識產權代理有限公司 代理人 丁香蘭;龐東成
地址 日本大阪府
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種光致抗蝕劑剝離劑組合物以及使用該組合物的光致抗蝕劑剝離方法，所述光致抗蝕劑剝離劑組合物在半導體基板和FPD基板的銅或銅合金布線制造工藝中，能夠在不含有苯并三唑類和含硫羥基化合物的情況下，不腐蝕銅或銅合金布線地剝離抗蝕劑。本發(fā)明的光致抗蝕劑剝離劑組合物中，鏈烷醇胺的含量為1～50重量％，水溶性有機溶劑的含量為10～88.998重量％，水的含量為10～88.998重量％，并且，水溶性有機溶劑和水的總含量為49.998～98.998重量％，作為銅或銅合金的防蝕劑的胞嘧啶和/或肌酸酐的含量為0.002～1.0重量％。