光致抗蝕劑剝離劑組合物

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200880016012.6 申請日 -
公開（公告）號 CN101681129A 公開（公告）日 2010-03-24
申請公布號 CN101681129A 申請公布日 2010-03-24
分類號 G03F7/42(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 山邊崇史;西嶋佳孝;安江秀國 申請（專利權(quán)）人 綿陽澄泓微電子材料有限公司
代理機構(gòu) 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 丁香蘭
地址 日本大阪府
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供FPD制造用光致抗蝕劑剝離劑組合物，其能夠在FPD制造工序中剝離光致抗蝕劑，而不會腐蝕Al或Al合金導線，而且也不會腐蝕Cu或Cu合金導線。本發(fā)明的光致抗蝕劑剝離劑組合物含有：選自由麥芽酚、2，6-二甲基-γ-吡喃酮、4-羥基-6-甲基-2-吡喃酮、4-羥基香豆素、2，4-二羥基喹啉、2-氨基-4，6-二羥基嘧啶、2，4-二氨基-6-羥基嘧啶、2-氨基-4-羥基-6-甲基嘧啶、4，6-二甲基-2-羥基嘧啶、尿嘧啶和6-甲基尿嘧啶組成的組中的至少一種雜環(huán)式化合物0.05～10重量％；烷醇伯胺或仲胺或者烷基伯胺或仲胺5～45重量％；極性有機溶劑30～94.85重量％；糖醇0.1～10重量％。