預(yù)埋犧牲層結(jié)構(gòu)的諧振器及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210097612.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114465596A 公開（公告）日 2022-05-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN114465596A 申請(qǐng)公布日 2022-05-10
分類號(hào) H03H9/15（2006.01）I;H03H9/13（2006.01）I;H03H3/02（2006.01）I 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 孫成亮;盧亮宇;劉文娟;劉婕妤;徐沁文;谷曦宇;蔡耀 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 寧波華彰企業(yè)管理合伙企業(yè)（有限合伙）
代理機(jī)構(gòu) 武漢科皓知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 -
地址 315832浙江省寧波市北侖區(qū)梅山七星路88號(hào)1幢401室A區(qū)E2025
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種預(yù)埋犧牲層的諧振器及其制備方法，包括：在襯底層的上表面形成凹槽，凹槽中填有犧牲層，犧牲層上表面有電極層，電極層之間及其周圍由鍵合層填充，最上層是壓電層。其中壓電層通過(guò)鍵合技術(shù)和離子注入技術(shù)，轉(zhuǎn)移至帶圖形化電極的襯底上，并采用其余適宜的半導(dǎo)體工藝進(jìn)行制備。可縮小諧振器結(jié)構(gòu)尺寸，穩(wěn)定性能，提高諧振器結(jié)構(gòu)的產(chǎn)率、穩(wěn)定性與牢固性。