射頻壓力傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011633610.7 申請日 -
公開（公告）號 CN112816109B 公開（公告）日 2022-03-15
申請公布號 CN112816109B 申請公布日 2022-03-15
分類號 G01L1/16（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 孫成亮;謝英;王雅馨;楊超翔;曲遠航 申請（專利權(quán)）人 寧波華彰企業(yè)管理合伙企業(yè)（有限合伙）
代理機構(gòu) 武漢科皓知識產(chǎn)權(quán)代理事務所（特殊普通合伙） 代理人 胡甜甜
地址 315832 浙江省寧波市北侖區(qū)梅山七星路88號1幢401室A區(qū)E2025
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種射頻壓力傳感器，包括帶有空腔的襯底，沉積在襯底上表面的布拉格反射柵層結(jié)構(gòu)以及形成在反射柵層結(jié)構(gòu)上的壓電堆疊結(jié)構(gòu)。布拉格反射柵層結(jié)構(gòu)從下至上依次為低聲阻抗層和高聲阻抗層的交替疊加；壓電堆疊結(jié)構(gòu)從下至上依次為底電極、壓電層及頂電極。當壓力作用于傳感器時，由于空腔的存在，壓電堆疊結(jié)構(gòu)、反射柵層結(jié)構(gòu)及空腔上襯底薄層在壓力的作用下發(fā)生相應形變，引起諧振頻率的偏移，最終測量出壓力的變化。通過設置的反射柵層結(jié)構(gòu)和空腔上的襯底層，可以增加傳感器的穩(wěn)定性；傳感器可承受更大的壓力，即可測量壓力范圍更大，應用范圍更廣。同時，SiO2薄膜層可以減少諧振器的溫漂問題，進一步增大傳感器的穩(wěn)定性與準確性。