一種具有濾波作用的壓電聲學換能器及其制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110582544.3 申請日 -
公開（公告）號 CN113316072A 公開（公告）日 2021-08-27
申請公布號 CN113316072A 申請公布日 2021-08-27
分類號 H04R17/02;H04R31/00 分類 電通信技術;
發(fā)明人 孫成亮;楊超翔;胡博豪;林炳輝;王雅馨 申請（專利權）人 寧波華彰企業(yè)管理合伙企業(yè)（有限合伙）
代理機構 武漢科皓知識產權代理事務所（特殊普通合伙） 代理人 胡琦旖
地址 315832 浙江省寧波市北侖區(qū)梅山七星路88號1幢401室A區(qū)E2025
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于MEMS壓電器件和半導體制造技術領域，公開了一種具有濾波作用的壓電聲學換能器及其制作方法。包括外殼、基板和MEMS芯片；外殼和基板圍合形成容置腔，基板上開設有聲孔，聲孔與容置腔連通；MEMS芯片包括襯底、振膜和濾波層；襯底的一端與基板連接，振膜連接于襯底背離基板的另一端，振膜與基板之間形成背腔，濾波層將背腔分隔為頂部背腔和底部背腔，濾波層開設有若干個通孔，并對應多個不同大小的截面積。本發(fā)明能夠有效地對雜波信號進行過濾，使得麥克風具有好的拾音效果。