有效機電耦合系數(shù)可調的超高頻諧振器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110947614.0 申請日 -
公開（公告）號 CN113726307A 公開（公告）日 2021-11-30
申請公布號 CN113726307A 申請公布日 2021-11-30
分類號 H03H9/13;H03H9/145;H03H9/17 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 孫成亮;溫志偉;劉文娟;蔡耀;劉婕妤;徐沁文;谷曦宇;曲遠航 申請（專利權）人 寧波華彰企業(yè)管理合伙企業(yè)（有限合伙）
代理機構 武漢科皓知識產權代理事務所（特殊普通合伙） 代理人 肖明洲
地址 315832 浙江省寧波市北侖區(qū)梅山七星路88號1幢401室A區(qū)E2025
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種有效機電耦合系數(shù)可調的超高頻諧振器，其結構包括：溝槽，電極，壓電薄膜；電極位于壓電薄膜上表面。溝槽橫截面為矩形、梯形、弧形中任一種，長度方向與電極長度方向一致，溝槽數(shù)目、寬度和深度據實際情況確定。溝槽可位于壓電薄膜上表面或下表面或位于上下表面，若其位于壓電薄膜上表面，則位于電極左右兩側；若其位于壓電薄膜下表面，則位于電極正下方；若其位于壓電薄膜上下表面，則上表面的溝槽位于電極左右兩側，下表面的溝槽位于電極正下方?？涛g溝槽能夠有效減小超高頻諧振器的帶寬，且可以通過改變溝槽的寬度和深度調節(jié)有效機電耦合系數(shù)，實現(xiàn)帶寬可調。