一種易于集成的FBAR濾波器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110040803.X 申請日 -
公開（公告）號 CN112886940B 公開（公告）日 2022-06-17
申請公布號 CN112886940B 申請公布日 2022-06-17
分類號 H03H9/17（2006.01）I;H03H9/25（2006.01）I 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 孫成亮;溫志偉;劉炎;王磊;曲遠航;龍開祥;羅天成;王瑤;楊超翔 申請（專利權）人 寧波華彰企業(yè)管理合伙企業(yè)（有限合伙）
代理機構 武漢科皓知識產(chǎn)權代理事務所（特殊普通合伙） 代理人 -
地址 315832 浙江省寧波市北侖區(qū)梅山七星路88號1幢401室A區(qū)E2025
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提出了一種易于集成的FBAR濾波器，包括：多個布拉格反射層結構的支撐腳、第一諧振器、第二諧振器；所述的第一諧振器、第二諧振器之間共用多個布拉格反射層結構的支撐腳；第一諧振器由質(zhì)量負載、第一上電極、第一壓電層、第一下電極依次沉積構成；第二諧振器由第二上電極、第二壓電層、第二下電極依次沉積構成。FBAR諧振器通過支撐腳聯(lián)接形成濾波器，諧振器可通過在上電極上部施加質(zhì)量負載調(diào)頻，以形成濾波器通帶。FBAR諧振器通過橫向分布的布拉格反射層相間結構的支撐腳聯(lián)接，能夠提高FBAR諧振器的機械品質(zhì)因數(shù)，也可使諧振器排布方式多樣化，可以為橫向排布方式或縱向疊加方式，提高濾波器的集成度，減小加工成本。