高發(fā)射性能的MEMS超聲換能器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110034536.5 申請日 -
公開（公告）號 CN112871614B 公開（公告）日 2022-03-15
申請公布號 CN112871614B 申請公布日 2022-03-15
分類號 B06B1/06（2006.01）I 分類 一般機械振動的發(fā)生或傳遞;
發(fā)明人 孫成亮;朱偉;吳志鵬;王磊;林炳輝;胡博豪 申請（專利權(quán)）人 寧波華彰企業(yè)管理合伙企業(yè)（有限合伙）
代理機構(gòu) 武漢科皓知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 鄭勤振
地址 315832 浙江省寧波市北侖區(qū)梅山七星路88號1幢401室A區(qū)E2025
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及高發(fā)射性能的MEMS超聲換能器，通過在超聲換能器上設(shè)置深槽提高發(fā)射聲壓或者帶寬，其中深槽的分布方式包括以下三種：一個或多個深槽貫穿超聲換能器壓電層、下電極、無源層、SiO2層，并一直延伸到襯底內(nèi)；超聲換能器遠離襯底的上表面鍵合一層硅層，正對超聲換能器的振膜的部分設(shè)置有貫通硅層作為波導(dǎo)的開口，一個或多個深槽分布在波導(dǎo)的周圍；一個或多個深槽分布在倒裝結(jié)構(gòu)超聲換能器襯底刻蝕的背腔周圍。超聲換能器發(fā)射的聲波經(jīng)過深槽時會引起深槽內(nèi)的介質(zhì)振動，這種振動會在超聲換能器振膜上產(chǎn)生一個附加聲場，通過調(diào)節(jié)深槽的尺寸，可以調(diào)節(jié)附加聲場，從而調(diào)節(jié)超聲換能器的發(fā)射聲壓、帶寬、指向性等發(fā)射性能。