一種用于光學(xué)調(diào)整及檢測(cè)的超精密六自由度五軸調(diào)整裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201711192259.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN107907959B | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-11-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN107907959B | 申請(qǐng)公布日 | 2020-11-24 |
| 分類號(hào) | G02B7/00 | 分類 | 光學(xué); |
| 發(fā)明人 | 李增強(qiáng);潘鑫;石瑋;趙雙 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 黑龍江哈工華粹智能裝備有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 哈爾濱龍科專利代理有限公司 | 代理人 | 高媛 |
| 地址 | 150001 黑龍江省哈爾濱市經(jīng)開(kāi)區(qū)哈平路集中區(qū)大連北路與興凱路交口處 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 一種用于光學(xué)調(diào)整及檢測(cè)的超精密六自由度五軸調(diào)整裝置，屬于光學(xué)調(diào)整及檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域。兩個(gè)X軸直線電機(jī)定子、X軸光柵尺及多個(gè)X軸限位組件均安裝在花崗巖底座上，兩個(gè)X軸直線電機(jī)線圈各通過(guò)一個(gè)X軸直線電機(jī)線圈座安裝在X軸溜板上，X軸溜板滑動(dòng)設(shè)置在花崗巖底座上面，四個(gè)Y軸限位組件安裝在兩個(gè)X軸直線電機(jī)線圈座上，Y軸光柵尺安裝在X軸溜板上面；兩個(gè)Y軸直線電機(jī)線圈各通過(guò)一個(gè)Y軸直線電機(jī)線圈座安裝在Y軸溜板，Y軸溜板滑動(dòng)設(shè)置在X軸溜板上面，Z軸精密升降臺(tái)固定在兩個(gè)Y軸直線電機(jī)線圈座上面，Z軸精密旋轉(zhuǎn)臺(tái)安裝在Z軸精密升降臺(tái)上面，θ軸三點(diǎn)調(diào)平臺(tái)安裝在Z軸精密旋轉(zhuǎn)臺(tái)上面。本發(fā)明用于需要使用超精密多軸調(diào)整臺(tái)的場(chǎng)合。 |
