一種用于全自動硅片清洗機(jī)的上料裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201821943598.8 申請日 -
公開（公告）號 CN209049872U 公開（公告）日 2019-07-02
申請公布號 CN209049872U 申請公布日 2019-07-02
分類號 B08B13/00（2006.01）I; B65G47/90（2006.01）I; H01L21/67（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 張旺 申請（專利權(quán)）人 江蘇科林泰電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 223005 江蘇省淮安市淮安經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)鴻海北路西側(cè)，大同路南側(cè)11號廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種用于全自動硅片清洗機(jī)的上料裝置，涉及硅片清洗技術(shù)領(lǐng)域，該用于全自動硅片清洗機(jī)的上料裝置，包括支撐板，支撐板的上表面中部固定安裝有驅(qū)動電機(jī)，驅(qū)動電機(jī)的兩側(cè)均固定連接有第一固定樁，驅(qū)動電機(jī)遠(yuǎn)離第一固定樁的一側(cè)中部通過轉(zhuǎn)軸活動連接有絲杠，絲杠的一端外側(cè)螺紋連接有滑動臺，絲杠的另一端活動連接有支撐臺，第一固定樁的一側(cè)中部固定連接無縫鋼管的一端，無縫鋼管的另一端固定連接第二固定樁的一側(cè)中部。該用于全自動硅片清洗機(jī)的上料裝置，通過驅(qū)動電機(jī)能夠帶動絲杠旋轉(zhuǎn)，從而使滑動臺能夠左右移動，通過第一固定樁和第二固定樁以及無縫鋼管之間的配合，能夠有效增強(qiáng)滑動臺作業(yè)時(shí)的穩(wěn)定性。