一種雙面研磨裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202123366531.7 申請日 -
公開（公告）號 CN216542671U 公開（公告）日 2022-05-17
申請公布號 CN216542671U 申請公布日 2022-05-17
分類號 B24B37/08（2012.01）I;B24B37/11（2012.01）I;B24B37/34（2012.01）I;B24B49/00（2012.01）I;B24B47/22（2006.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 賀云鵬;王賀 申請（專利權）人 西安奕斯偉材料科技股份有限公司
代理機構 西安維英格知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 -
地址 710065陜西省西安市高新區(qū)西灃南路1888號1-3-029室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型實施例公開了一種雙面研磨裝置，所述雙面研磨裝置包括：對置的一對流體靜壓墊；對置的一對研磨輪，所述一對研磨輪分別固定在所述一對流體靜壓墊上；夾持裝置，所述夾持裝置用于將待研磨件夾持在所述一對研磨輪之間；監(jiān)測單元，所述監(jiān)測單元用于實時監(jiān)測所述待研磨件相對于所述一對研磨輪的位置并且在所述待研磨件相對于所述一對研磨輪的位置超出預定范圍時發(fā)送監(jiān)測信號；調整單元，所述調整單元用于基于所述監(jiān)測信號將所述待研磨件相對于所述一對研磨輪的位置調整到所述預定范圍內。