一種清洗裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911301459.4 申請日 -
公開（公告）號 CN111014169B 公開（公告）日 2022-05-20
申請公布號 CN111014169B 申請公布日 2022-05-20
分類號 B08B3/12（2006.01）I;B08B9/093（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;B08B3/02（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 李在桓;史進(jìn) 申請（專利權(quán)）人 西安奕斯偉材料科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京銀龍知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 710000 陜西省西安市高新區(qū)西灃南路1888號1-3-029室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種清洗裝置，包括：清洗槽；清洗管，清洗管上設(shè)有多個噴水孔；支撐座，支撐座設(shè)在清洗槽的外部，支撐座內(nèi)限定有容納腔，清洗管在容納腔的內(nèi)部和外部之間可移動，清洗管位于容納腔的外部時，清洗管可在第一位置與第二位置之間樞轉(zhuǎn)活動，第一位置位于清洗槽的外部，第二位置位于清洗槽的內(nèi)部。該清洗裝置中的清洗管從容納腔移出后能夠清洗硅片，通過清洗管的樞轉(zhuǎn)能對清洗槽的內(nèi)壁進(jìn)行清洗，能夠高效清除殘留在清洗槽內(nèi)壁的異物，防止內(nèi)壁上的異物對硅片造成污染，清洗后清洗管能夠收納于容納腔中且位于清洗槽的外部，避免占用清洗槽的內(nèi)部空間，避免外部對清洗管造成污染或損壞。