一種用于化學(xué)鈍化的系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911357714.7 申請日 -
公開（公告）號 CN111092035B 公開（公告）日 2022-05-24
申請公布號 CN111092035B 申請公布日 2022-05-24
分類號 H01L21/67（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張翔;蒲以松 申請（專利權(quán)）人 西安奕斯偉材料科技股份有限公司
代理機構(gòu) 西安嘉思特知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 710000 陜西省西安市高新區(qū)西灃南路1888號1-3-029室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種用于化學(xué)鈍化的系統(tǒng)，包括氣泡去除裝置、樣品載臺、封口機構(gòu)，氣泡去除裝置位于樣品載臺的上方，封口機構(gòu)位于氣泡去除裝置的上方，氣泡去除裝置和樣品載臺的樣品放置區(qū)對向設(shè)置，封口機構(gòu)的封口部位與樣品載臺的封口區(qū)對向設(shè)置，樣品載臺用于在樣品放置區(qū)放置待封口樣品；氣泡去除裝置用于使鈍化液體均勻地散布在待封口樣品上，去除裝載有待封口樣品的封口膜中的氣泡以及多余的鈍化液體；封口機構(gòu)用于將封口區(qū)中的封口膜進(jìn)行封口。本發(fā)明的用于化學(xué)鈍化的系統(tǒng)不需要人為去除封口膜中的氣泡，可以精準(zhǔn)地對封口膜進(jìn)行塑封，提高了化學(xué)鈍化的效果和效率，減少了因為操作人員水平問題造成的鈍化效果之間的差異。