一種氣相沉積反應(yīng)腔體的承載裝置及清洗系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911347019.2 申請日 -
公開（公告）號 CN111112266B 公開（公告）日 2022-05-27
申請公布號 CN111112266B 申請公布日 2022-05-27
分類號 B08B9/30（2006.01）I;B08B9/34（2006.01）I;H01L21/20（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 劉凱;王力 申請（專利權(quán)）人 西安奕斯偉材料科技股份有限公司
代理機構(gòu) 西安嘉思特知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 710000 陜西省西安市高新區(qū)西灃南路1888號1-3-029室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種氣相沉積反應(yīng)腔體的承載裝置及清洗系統(tǒng)，該氣相沉積反應(yīng)腔體的承載裝置包括：承載板、擋板組件和承托件，其中，承載板上開設(shè)有第一開口；擋板組件環(huán)繞于承載板的周向，以使擋板組件與承載板形成容納氣相沉積反應(yīng)腔體的容納室；承托件跨接于擋板組件的兩側(cè)且位于承載板的上方。本發(fā)明的氣相沉積反應(yīng)腔體的承載裝置有效地保護了氣相沉積反應(yīng)腔體，避免氣相沉積反應(yīng)腔體因為夾持壓力過大而破裂或者壓力過小而滑落損壞，同時在承載裝置進行下降放入清洗室的過程中，承載板的底部與清洗室底部發(fā)生接觸，避免了氣相沉積反應(yīng)腔體的開口端與清洗室底部直接碰撞而發(fā)生損壞，從而降低了氣相沉積反應(yīng)腔體的損壞率。